磁翻板液位计是玻璃基板在进行涂布、曝光、显影、镀膜等制程前对玻璃表面进行清洁、干燥处理的设备机台。故障发生是在实际生产过程中无法避免的问题，本文主要阐述了磁翻板液位计常见故障发生的原因及处理办法，只有熟悉故障发生的确切原因，了解相关的处理办法才能更好的使用磁翻板液位计来帮助我们加工生产更多好产品，提高生产效率及良率。

    1.传送故障
    1.1 故障说明
    Sensor OFF/on Gap Alarm即故障位置玻璃基板与前进位置玻璃基板间距过小，有叠片风险；In/Out sensor Alarm即有玻璃信息时，IN/OUT 传感器未点亮，无玻璃信息时,IN/OUT 传感器点亮；sensor Off/on time over Alarm即传感器在设定时间内没有OFF/ON，导致超时报警。

    1.2 可能的原因
    1）故障位置或前进位置马达传送机构异常；
    2）传感器状态异常，造成误感；
    3）传感器损坏；
    4）玻璃基板破片。

    1.3 故障处理办法
    1）确认马达传送机构，对应处理后，设备重新运转；
    2）确认传感器高度、感应ON/OF状态，设备重新Reset运转；
    3）更换损坏传感器,确认OK后，设备重新运转；
    4）按照安全作业流程清除破片，检查故障位置传送机构：传送机构、Guide Roller、Double Roller，SWR 喷淋状态等，确认OK后，设备重新运转。

    2.流量故障
    2.1 故障说明
    Upper/Lower shower flow /High Alarm即供液时流量超限位过低/高；shower Flow Minimum Alarm即供液时流量过低或者无流量。

    2.2 可能的原因
    1）Filter、 喷淋喷嘴堵塞等；
    2）流量调整错误；
    3）供液 PUMP 损坏。

    2.3 故障处理办法
    1）更换Filter、清理喷嘴；
    2）调整流量至规格值内；
    3）更换供液 Pump。处理后重新Reset运转，确认供液时存在流量，需在Setup中的Pipe I/L 画面进行流量Setting OK后，确认故障解除。

    3.伺服电动机故障
    3.1 故障说明
    Servo Driver Alarm即Servo Driver 报错信息异常；cw / ccw Limit Alarm即伺服电动机正转/反转限位传感器 感应到。

    3.2 可能的原因
    1）伺服电动机机构过载；
    2）伺服电动机通讯线、驱动器 损坏；
    3）电机驱动器 断电或显示异常；
    4）手动JOG 移动超极限，导致报警。

    3.3 故障处理办法
    1）确认机构是否存在干涉现象，再次手动JOG至原点传感器信号ON时进行，伺服回原点；

    2）更换伺服电动机通讯线、驱动器；

    3）重启电机驱动器电源；

    4）确认手动操作是否会造成机构干涉过载。在手动状态下，确认伺服驱动器是否显示报警，显示报警时需要重新将伺服重启。

    4.破片故障
    4.1 故障说明
    In/Out Broken Alarm即IN/OUT Broken 传感器未检测到玻璃基板。

    4.2 可能的原因
    1）导向滚轮磨损挤压破片；
    2）双滚轮挤压破片；
    3）滚轮传动异常挤压破片。

    4.3 故障处理办法
    1）记录各部件的磨损周期然后进行定期更换。更换期内定期巡检易导致破片发生的部件，及时更换有导致破片风险的部件；

    2）添加垫片向上抬高上滚轮的固定位置，通过调整机构可以有效的减少玻璃基板在清洗过程中因双滚轮夹持导致的破片；
 
    3）对传送齿轮添加润滑油，对滚轮轴承添加润滑剂等。破片故障发生后可以按照确认位置、寻找碎片、取样分析、比对位置、确认真因、调整处理来解决故障发生。

    5.水箱故障
    5.1 故障说明
    1）TANK HH LEVEL Alarm即水箱中液位超HH上限；
    2）TANK HH Interlock LEVEL Alarm即Tank interlock（水箱外透明PVC管)HH超上限；
    3）TANK PUMP MCCB ALARM即水箱水泵保护开关跳电。

    5.2 可能的原因
    1）Filter堵塞或流量规格调整错误；
    2）水箱液位超HH，报警异常或interlock HH 传感器误感或损坏；
    3）保护开关跳电。

    5.3 故障处理办法
    1）更换Filter并调整流量至规格值内；
    2）排除水箱内多余纯水，调整传感器或更换传感器；
    3）检查接线有无异常，重启水泵保护开关。

    6.气缸故障
    6.1 故障说明
    Cylinder FW/BK 或UP Down Alarm即Cylinder 前进/后退或上升/下降不到位。

    6.2 可能的原因
    1）气缸供气量不足；
    2）Cylinder 前进/后退或者上下感应传感器位置异常。

    6.3 故障处理办法
    1）调整CDA供应量；
    2）调整传感器位置。处理故障后，在Touch Panel Jod画面进行手动操作到位，运转OK后Reset机台。

    7.水残故障
    7.1 故障说明
    玻璃基板在经过磁翻板液位计清洗后再OUT CV处能观察到基板表面有水迹残留。

    7.2 可能的原因
    1）风刀流量不足；
    2）SWR段排气过小,使水汽随流至风刀挡板上凝结；
    3）风刀前后idle roller高度异常；
    4）风刀角度异常。

    7.3 故障处理办法
    1）调整风刀CDA流量至规格值内(上风刀需大于下风刀约200lpm)；
    2）调整SWR段排气；
    3）调整风刀前后idle roller高度与基板搬送水平一致；
    4）调整风刀角度。调整后通过cold run玻璃基板来检查水残是否消失。

    8.结语
    设备故障率是指设备故障停机时间与设备应开动时间的比，是考核设备的技术状态、故障强度、维修质量和效率的一个指标。如何降低磁翻板液位计的故障率是从事相关产业人员须关注的目标，对发生过的故障进行原因分析，有针对性的进行预防管理可以有效的降低故障率，从而提高生产效率，达到提速降本的效果。